1) Micro-nano-sistemi e circuiti di interfaccia: introduzione
− Circuiti integrati (l’incredibile legge di Gordon Moore)
− Micro-nano-sistemi (“A friend of mine (Albert R. Hibbs) suggests…, although it is a very wild idea, it would be interesting in surgery if you could swallow the surgeon…”, Richard Feynman, “There's Plenty of Room at the Bottom”, 1959)
− Scaling laws
− Micro-nano-sistemi: complessità e opportunità (CMOS, “swallow the surgeon”,…)
− Elettronica analogica, elettronica digitale, smart systems,…
2) Strumenti per l’analisi e il progetto di micro-nano-sistemi
− Analisi e progetto di micro-nano-sistemi lineari tempo invarianti (trasformata di Fourier; trasformata di Laplace; diagrammi di Bode; criterio di Nyquist; stima degli zeri e dei poli di un micro-nano-sistema)
− Linearizzazione di micro-nano-sistemi non lineari
− Circuiti equivalenti
− Esempi (micro-nano-sistemi termici, meccanici, piezoelettrici,…)
3) Simulazione di micro-nano-sistemi
4) Micro-nano-sistemi
− Circuiti integrati
− Wireless health
− Implantable systems
− Sistemi wearable
− Electronic skin (epidermal electronics,…)
− Micro-nano-sistemi termici
− Nanostrutture quasi-1D (nanowires, ZnO nanowires, nanobelts, carbon nanotubes,…)
− 2D electronics (graphene, MoS2, van der Waals hjeterostructures,…)
− Piezotronics
− PCB nanoelectronics
− Nanogeneratori piezoelettrici
− Nanogeneratori triboelettrici
− …
5) Tecnologie di fabbricazione
− Ossidazione del silicio
− Deposizione di film sottili (spin coating, spray coating, sputtering, evaporazione termica, CVD, LPCV, PLD…)
− Sintesi di nanostrutture quasi-1D (processi ad alta temperatura; wet-chemistry;…)
− Solution-growth of ZnO nanowires (conventional; cyclic growth; microreactors with contact heating of the substrate; microwaves-assisted synthesis; local substrate heating by laser; local substrate heating by microresistors; advection – spin and spray; thermoconvective solution-growth)
− Litografia
− Etching
− Bonding
− Tecnologia CMOS (principi generali)
− Dispositivi elettronici integrati (resistori, condensatori, transistor,...)
− …
6) Metodi di caratterizzazione (Atomic Force Microscope, Scanning Electron Microscope, Kelvin Probe Force Microscope,…)
7) Layout
− PCBs (printed circuit boards)
− Integrated circuits
English
Italiano